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產品特色
- 由2~12吋晶圓+熱電偶組成(TC Wafer)
- 準確量測設備平台溫度
- 多點分布量測設備均溫性(1~34ea)/升溫速率可達35℃/S
- 溫度範圍: -200~1250℃
- 經由國際實驗室(ILAC)授權之第三單位實驗室依照TAF/ANAB做為校驗標準
- 彈性化客製
- 數據可透過有/無線紀錄器傳輸至PC端
校驗服務
ILAC / ANAB Certification Service
- 第三方實驗室為擁有 50 多年的知識和經驗，利用由 ISO 17025 認證的 NIST 可追溯校準實驗室和支援辦公室組成的全球網路。
- 並通過行業領先的校準服務和解決方案簡化您的校準工作流程。
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- 為您量身訂做的溫度量測工具，為您的產品品質把關。
- 我們擁有專業開發團隊，豐富製程經驗，專業量測工具驗證與製作。
技鼎自行開發之熱電偶溫度感測器(Thermocouple Wafer)，並經過國際實驗室認證聯盟(ILAC)授權之第三單位實驗室依照TAF/ANAB做為校驗標準，產品乃為藉由晶圓表面單一或是數個之溫度感測點，經測量後取得這些特定位置之溫度量測值，藉以協助使用者依此測量標準來對製程設備做溫度校准，同時監測環境溫度均勻性。
主要應用：RTP、OVEN、REFLOW、HOT PLATE、CVD、PVD、SPUTTERING、OTHER PROCESS
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產品組成
Application Wire group Spec (mm) L2 wire material L1 L2 L3 RTP 1 300 100 600 polyimide 2 600 100 600 Reflow 3 0 300 500 teflon 4 1000 0 0 5 6000 0 0 CVD/PVD 6 300 150 1000 polyimide 7 700 400 1000 Oven 8 1000 300 2000 teflon 9 2000 300 2000 Coater/Hot plate 10 200 200 2000 polyimide 11 2000 200 1800 12 500 100 1000 
Type Diameter (mm) Working Temperature (°C) Accuracy R/S 0.127 1200 ±1.5°C or ±0.25% (MT) 0.254 1250 K 0.127 700 ±1.1°C or ±0.4% (MT) 0.3 900 T 0.127 400 ±0.5°C or ±0.1% (MT)
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關於TCW
產品特色
- 由2~12吋晶圓+熱電偶組成(TC Wafer)
- 準確量測設備平台溫度
- 多點分布量測設備均溫性(1~34ea)/升溫速率可達35℃/S
- 溫度範圍: -200~1250℃
- 經由國際實驗室(ILAC)授權之第三單位實驗室依照TAF/ANAB做為校驗標準
- 彈性化客製
- 數據可透過有/無線紀錄器傳輸至PC端
校驗服務
ILAC / ANAB Certification Service
- 第三方實驗室為擁有 50 多年的知識和經驗，利用由 ISO 17025 認證的 NIST 可追溯校準實驗室和支援辦公室組成的全球網路。
- 並通過行業領先的校準服務和解決方案簡化您的校準工作流程。
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產品敘述
- 為您量身訂做的溫度量測工具，為您的產品品質把關。
- 我們擁有專業開發團隊，豐富製程經驗，專業量測工具驗證與製作。
技鼎自行開發之熱電偶溫度感測器(Thermocouple Wafer)，並經過國際實驗室認證聯盟(ILAC)授權之第三單位實驗室依照TAF/ANAB做為校驗標準，產品乃為藉由晶圓表面單一或是數個之溫度感測點，經測量後取得這些特定位置之溫度量測值，藉以協助使用者依此測量標準來對製程設備做溫度校准，同時監測環境溫度均勻性。
主要應用：RTP、OVEN、REFLOW、HOT PLATE、CVD、PVD、SPUTTERING、OTHER PROCESS
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標準規格選項
產品組成
Application Wire group Spec (mm) L2 wire material L1 L2 L3 RTP 1 300 100 600 polyimide 2 600 100 600 Reflow 3 0 300 500 teflon 4 1000 0 0 5 6000 0 0 CVD/PVD 6 300 150 1000 polyimide 7 700 400 1000 Oven 8 1000 300 2000 teflon 9 2000 300 2000 Coater/Hot plate 10 200 200 2000 polyimide 11 2000 200 1800 12 500 100 1000 Type Diameter (mm) Working Temperature (°C) Accuracy R/S 0.127 1200 ±1.5°C or ±0.25% (MT) 0.254 1250 K 0.127 700 ±1.1°C or ±0.4% (MT) 0.3 900 T 0.127 400 ±0.5°C or ±0.1% (MT)
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