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- Footprint: 680W x 1127D x 1536H mm
- Chamber Dimension: 457W x 610D x 457H mm
- RF Power: 1000W
- Controls: PLC with touch-screen interface
- MFC: 2 mass flow controllers (up to 4)
- Frequency:13.56 MHz
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- 一次可放八盒彈夾
- 電極板可依不同製程彈性置換, 來處理如彈夾,wafer, try 盤, carrier boat 等不同製具
- 可處理之產品如 BGA, 導線架, 覆晶基板,發光二極體光電材料, 醫療材料..等, 均已獲國際大廠驗證並用於量產
- PLC 介面控制
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原廠規格
- Footprint: 680W x 1127D x 1536H mm
- Chamber Dimension: 457W x 610D x 457H mm
- RF Power: 1000W
- Controls: PLC with touch-screen interface
- MFC: 2 mass flow controllers (up to 4)
- Frequency:13.56 MHz
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產品應用
- 一次可放八盒彈夾
- 電極板可依不同製程彈性置換, 來處理如彈夾,wafer, try 盤, carrier boat 等不同製具
- 可處理之產品如 BGA, 導線架, 覆晶基板,發光二極體光電材料, 醫療材料..等, 均已獲國際大廠驗證並用於量產
- PLC 介面控制
產品庫存：0
