NORDSON MARCH StratoSPHERE (For Wafer)
MARCH StratoSPHERE
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- Footprint: 1405W x 2615D x 1742H mm
- Working Area: 305W x 560D mm
- RF Power: 600W
- Frequency: 13.56MHz
- MFCs: Up to 4
- Pump: Dry pump, 16CFM
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- 晶圓扇出、晶圓級封裝、3D 封裝、倒裝晶片和傳統封裝之前的晶圓處理
- 可處理最大 300 毫米（12 吋）的晶圓，可提供卓越的蝕刻均勻性
- 全自動送料
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原廠規格
- Footprint: 1405W x 2615D x 1742H mm
- Working Area: 305W x 560D mm
- RF Power: 600W
- Frequency: 13.56MHz
- MFCs: Up to 4
- Pump: Dry pump, 16CFM
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產品應用
- 晶圓扇出、晶圓級封裝、3D 封裝、倒裝晶片和傳統封裝之前的晶圓處理
- 可處理最大 300 毫米（12 吋）的晶圓，可提供卓越的蝕刻均勻性
- 全自動送料
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