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- Footprint: 680W x 1127D x 1536H mm
- Chamber Dimension: 457W x 610D x 457H mm
- RF Power: 1000W
- Controls: PLC with touch-screen interface
- MFC: 2 mass flow controllers (up to 4)
- Frequency:13.56 MHz
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- 一次可放八盒弹夹
- 电极板可根据不同制程灵活置换，用于处理如弹夹、晶圆、托盘、载体船等不同制具
- 可处理的产品包括BGA、导线架、覆晶基板、发光二极管、光电材料、医疗材料等，均已获得国际大厂验证并用于量产
- PLC接口控制
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原厂规格
- Footprint: 680W x 1127D x 1536H mm
- Chamber Dimension: 457W x 610D x 457H mm
- RF Power: 1000W
- Controls: PLC with touch-screen interface
- MFC: 2 mass flow controllers (up to 4)
- Frequency:13.56 MHz
-
产品应用
- 一次可放八盒弹夹
- 电极板可根据不同制程灵活置换，用于处理如弹夹、晶圆、托盘、载体船等不同制具
- 可处理的产品包括BGA、导线架、覆晶基板、发光二极管、光电材料、医疗材料等，均已获得国际大厂验证并用于量产
- PLC接口控制
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