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产品特色
- 由2~12吋晶圆+热电偶组成(TC Wafer)
- 准确量测设备平台温度
- 多点分布量测设备均温性(1~34ea)/升温速率可达35℃/S
- 温度范围: -200~1250℃
- 经由国际实验室(ILAC)授权之第三单位实验室依照TAF/ANAB做为校验标准
- 弹性化客制
- 数据可透过有/无线纪录器传输至PC端
校验服务
ILAC / ANAB Certification Service- 第三方实验室为拥有 50 多年的知识和经验，利用由 ISO 17025 认证的 NIST 可追溯校准实验室和支持办公室组成的全球网络。
- 并通过行业领先的校准服务和解决方案简化您的校准工作流程。
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- 为您量身订做的温度量测工具，为您的产品质量把关。
- 我们拥有专业开发团队，丰富制程经验，专业量测工具验证与制作。
技鼎自行开发之热电偶温度传感器(Thermocouple Wafer)，并经过国际实验室认证联盟(ILAC)授权之第三单位实验室依照TAF/ANAB做为校验标准，产品乃为藉由晶圆表面单一或是数个之温度感测点，经测量后取得这些特定位置之温度量测值，藉以协助使用者依此测量标准来对制程设备做温度校准，同时监测环境温度均匀性。
主要应用：RTP、OVEN、REFLOW、HOT PLATE、CVD、PVD、SPUTTERING、OTHER PROCESS
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產品組成
Application Wire group Spec (mm) L2 wire material L1 L2 L3 RTP 1 300 100 600 polyimide 2 600 100 600 Reflow 3 0 300 500 teflon 4 1000 0 0 5 6000 0 0 CVD/PVD 6 300 150 1000 polyimide 7 700 400 1000 Oven 8 1000 300 2000 teflon 9 2000 300 2000 Coater/Hot plate 10 200 200 2000 polyimide 11 2000 200 1800 12 500 100 1000 
Type Diameter (mm) Working Temperature (°C) Accuracy R/S 0.127 1200 ±1.5°C or ±0.25% (MT) 0.254 1250 K 0.127 700 ±1.1°C or ±0.4% (MT) 0.3 900 T 0.127 400 ±0.5°C or ±0.1% (MT)
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关于TCW
产品特色
- 由2~12吋晶圆+热电偶组成(TC Wafer)
- 准确量测设备平台温度
- 多点分布量测设备均温性(1~34ea)/升温速率可达35℃/S
- 温度范围: -200~1250℃
- 经由国际实验室(ILAC)授权之第三单位实验室依照TAF/ANAB做为校验标准
- 弹性化客制
- 数据可透过有/无线纪录器传输至PC端
校验服务
ILAC / ANAB Certification Service- 第三方实验室为拥有 50 多年的知识和经验，利用由 ISO 17025 认证的 NIST 可追溯校准实验室和支持办公室组成的全球网络。
- 并通过行业领先的校准服务和解决方案简化您的校准工作流程。
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产品叙述
- 为您量身订做的温度量测工具，为您的产品质量把关。
- 我们拥有专业开发团队，丰富制程经验，专业量测工具验证与制作。
技鼎自行开发之热电偶温度传感器(Thermocouple Wafer)，并经过国际实验室认证联盟(ILAC)授权之第三单位实验室依照TAF/ANAB做为校验标准，产品乃为藉由晶圆表面单一或是数个之温度感测点，经测量后取得这些特定位置之温度量测值，藉以协助使用者依此测量标准来对制程设备做温度校准，同时监测环境温度均匀性。
主要应用：RTP、OVEN、REFLOW、HOT PLATE、CVD、PVD、SPUTTERING、OTHER PROCESS -
标准规格选项
產品組成
Application Wire group Spec (mm) L2 wire material L1 L2 L3 RTP 1 300 100 600 polyimide 2 600 100 600 Reflow 3 0 300 500 teflon 4 1000 0 0 5 6000 0 0 CVD/PVD 6 300 150 1000 polyimide 7 700 400 1000 Oven 8 1000 300 2000 teflon 9 2000 300 2000 Coater/Hot plate 10 200 200 2000 polyimide 11 2000 200 1800 12 500 100 1000 Type Diameter (mm) Working Temperature (°C) Accuracy R/S 0.127 1200 ±1.5°C or ±0.25% (MT) 0.254 1250 K 0.127 700 ±1.1°C or ±0.4% (MT) 0.3 900 T 0.127 400 ±0.5°C or ±0.1% (MT)
产品库存：0
