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快速升溫退火爐RTP_Auto
快速升溫退火爐RTP_Auto (RTP(自動快速升溫退火爐))
快速升溫退火爐RTP_Auto (RTP(自動快速升溫退火爐))
全自動快速升溫退火爐,配備了兩組製程腔體與機械手臂,可選擇自動或手動操作.
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  產品規格  
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●Rapid Thermal Annealing/快速升溫退火爐
●高溫退火/高溫擴散(Annealing / Diffusion)
●金屬合金/砷化鎵合金(Metal Alloy, GaAs Contact Alloy)
●硼磷矽玻璃回熔(PSG/BPSG Reflow)
●氧化製程(Trench Oxidation)
●閘極介電製程(Gate Dielectric Formation)
●多晶矽退火(Poly–Si Annealing)
●鈦矽化合物/氮化物(Ti Silicide / Salicide / Nitride)
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