產品類別         半導體產業 晶圓製造 快速升溫退火爐 產品工程分析 封裝 測試 光電產業 印刷電路板產業 微機電產業 HOME > 產品資訊 > 半導體產業 > 晶圓製造 > 快速升溫退火爐 產品資訊 產品資訊 提供一系列快速升溫退火爐，適用於2”~12”wafer 具200C/sec 升溫速率,最高溫可達1250C或1600C。目前已有超過100部以上之裝機紀錄，涵蓋IC, LED, Solar Cell等產業領域。 快速升溫退火爐RTP_Table (RTP_桌上型快速升溫退火爐)   快速升溫退火爐RTP_SA (RTP(半自動快速升溫退火爐))   快速升溫退火爐RTP_Auto (RTP(自動快速升溫退火爐))     總筆數： 3   最近檢閱日期:2022-05-19       會員 帳號 : 密碼 : 忘記密碼 │ 加入會員 電子報訂閱 全文檢索