全自動 8 吋晶圓設備
SiC / Silicon / GaN / GaAs
化合物半導體退火
SiC / Silicon / GaN / GaAs
化合物半導體退火
全自動快速熱處理（RTP）系統
RTP-1200A（SEC）是一款專為8英寸晶圓設計的全自動快速熱處理（RTP）系統。該系統具有多區SCR控制的高均勻性腔體，以確保最佳工藝效果。 EFEM系統可配置SMIF（*1）或Open cassette裝載端口滿足各種生產需求。
擁有眾多量產證明和不同產品線的安裝實績，我們的RTP解決方案受到行業領導者的信賴。
實驗室中心允許潛在用戶在評估或做出購買決策前進行樣品測試。Premtek提供廣泛基材應用的退火工藝解決方案。我們在SiC/Si MOSFET、SBD和GaN HEMTs功率元件方面擁有豐富的專業知識。
（*1）選配 SMIF load port : RTP - 1200A (SEF)
製程應用
- Ohmic / Schottky contact
- Ion-implantation treatment
- Metal silicide formation
- PBSG/PSG reflow
- Dopant activation
- ITO film activation
- Wafer manufacturing
產品特徵
- 8” & 6” 晶圓產品
- 全自動手臂晶圓傳送
- SMIF / Open cassette 裝卸口
- 常壓 / 真空工藝相容
- 雙面上下加熱燈管矩陣
客戶優勢
- 量產生產證明
- 無氧 (O2 < 1 ppm) 環境監控
- 優秀的產品均勻性
- 高產能的晶圓傳送
- 支持SECS / GEM 通訊協議
- 相容SEMI-S2 / CE 安全規定
Premtek 半自動RTP
適合小型生產線、研發和製程監控。通過更換不同類型的承載器，製程腔體可兼容2至12英寸的晶圓，為各種應用提供靈活性。
做為亞洲領導的RTP品牌，Premtek已安裝超過500台設備，並在市場中擁有廣泛的應用經驗，包括應用於離子植入機後的退火、GaAs/InP基板、ITO薄膜活化、裸晶圓退火及Micro LED等新興技術。
Premtek 桌上型 RTP
對於學術領域、實驗室和研發中心，Premtek桌上型RTP提供具成本效益的完全解決方案，兼容2至6英寸的晶圓。簡單、高效，旨在滿足全球研究人員的需求。
如有RTP的採購相關需求，請留下以下相關資訊或來電詢問。
如果您有任何發問、建議、或是只想與我們聯繫、我們很樂意聽取您的意見！
