全自动 8 吋晶圆设备
For SiC / Silicon / GaN / GaAs
化合物半导体退火
For SiC / Silicon / GaN / GaAs
化合物半导体退火
全自动快速热处理（RTP）系统
RTP-1200A（SEC）是一款专为8英寸晶圆设计的全自动快速热处理（RTP）系统。该系统具有多区SCR控制的高均匀性腔体，以确保最佳工艺效果。 EFEM系统可配置SMIF（*1）或Open cassette装载端口满足各种生产需求。
拥有众多量产证明和不同产品线的安装实绩，我们的RTP解决方案受到行业领导者的信赖。
实验室中心允许潜在用户在评估或做出购买决策前进行样品测试。Premtek提供广泛基材应用的退火工艺解决方案。我们在SiC/Si MOSFET、SBD和GaN HEMTs功率组件方面拥有丰富的专业知识。
（*1）选配 SMIF load port : RTP - 1200A (SEF)
工艺应用
- Ohmic / Schottky contact
- Ion-implantation treatment
- Metal silicide formation
- PBSG/PSG reflow
- Dopant activation
- ITO film activation
- Wafer manufacturing
产品特征
- 8” & 6” 晶圓產品
- 全自动手臂晶圆传送
- SMIF / Open cassette 装卸口
- 常压 / 真空工艺相容
- 双面上下加热灯管矩阵
o 客户优势
- 量产生产证明
- 无氧 (O2 < 1 ppm) 环境监控
- 優秀的產品均勻性
- 高产能的晶圆传送
- 支持SECS / GEM 通讯协议
- 相容SEMI-S2 / CE 安全规定
Premtek 半自動RTP
适合小型生产线、研发和制程监控。通过更换不同类型的承载器，工艺腔体可兼容2至12英寸的晶圆，为各种应用提供灵活性。
做为亚洲领导的RTP品牌，Premtek已安装超过500台设备，并在市场中拥有广泛的应用经验，包括应用于离子植入机后的退火、GaAs/InP基板、ITO薄膜活化、裸晶圆退火及Micro LED等新兴技术。
Premtek 桌上型 RTP
对于学术领域、实验室和研发中心，Premtek桌上型RTP提供具成本效益的完全解决方案，兼容2至6英寸的晶圆。简单、高效，旨在满足全球研究人员的需求。
如有RTP的采购相关需求，请留下以下相关信息或来电询问。
如果您有任何发问、建议、或是只想与我们联系、我们很乐意听取您的意见！
