专业晶圆退火设备：
For SiC / Silicon / GaN / GaAs / InP
产品解决方案：
AI Servers / Power Discrete Applications
Optical Applications / Micro LEDs / CPO (CW Lasers and Photodiodes)
Communication / RF & Power Amplifier Applications
Automotive / Power Device Applications
制程应用
Ohmic / Schottky contact
Ion-implantation treatment
Metal silicide formation
PBSG/PSG reflow
Dopant activation
ITO film activation
Wafer manufacturing
产品特征
8" & 6"晶圆产品
全自动手臂晶圆传送
SMIF / Open cassette 装卸口
常压 / 真空工艺相容
双面上下加热灯管矩阵
客户优势
量产生产证明
无氧 (O2 < 1 ppm) 环境监控
优秀的产品均匀性
高产能的晶圆传送
支持SECS / GEM 通讯协议
相容SEMI-S2 / CE 安全规定
全自动快速热处理(RTP)系统
RTP-1200A(S)
*GaAs/InP total solutions
全自动传送退火设备，能支持6 英寸向下兼容尺寸，满足客户端工厂小尺寸产品的生产需求
RTP-1200A(SEC)
*Major installed base in SiC & GaN
全支持 6 至 8 吋晶圆的全自动生产设备。配备 SMIF Load Port 接口，并拥有丰富的装机实绩，已成为亚洲化合物半导体产业扩产的重要设备
RTP-2200A(SEC)
*Si-base implanted diffusion control
*Dual-chamber
全自动晶圆生产设备，具备更快速的升温与降温能力，可提供更佳的硅扩散制程控制。双腔体设计可协助客户提升产能与生产效率
半自动快速热处理(RTP)系统
半自动 RTP
适合小型生产线、研发和制程监控。通过更换不同类型的承载器，制程腔体可兼容2至12英寸的晶圆，为各种应用提供灵活性
桌上型 RTP
对于学术领域、实验室和研发中心，Premtek桌上型RTP提供具成本效益的完全解决方案，兼容2至6英寸的晶圆。简单、高效，旨在满足全球研究人员的需求
如有RTP的采购相关需求，请留下以下相关信息或来电询问。
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