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技鼎台北南展覽館展出快速升降溫製程設備
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日期Icon 2016-02-03
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技鼎 展出快速升降溫製程設備

作者陳又嘉 | 中時電子報 – 2015529 上午5:50工商時報【陳又嘉】專精代理半導體設備大廠的技鼎公司,616日在台北南展覽館N508攤位展出快速升降溫製程(RTP)設備及測溫晶圓(TCW)耗材產品,有興趣的業者可至展覽會場參觀。技鼎公司打造自有品牌「Premtek」,專注研發快速升降溫製程(RTP)設備及測溫晶圓(TCW)等產品。RTP可運用於高溫退火、擴散、LED/III-V族半導體合金化-減少歐姆接觸、回熔、閘極介電製程、多晶矽退火及鈦矽化合物、氮化物。目前已成功開發出一系列簡易型、桌上型、手動、半自動與全自動212吋晶圓快速升降溫設備,與傳統爐管設備相較,可大幅減少熱預算與縮短製程時間,適用於各尺寸與多片式的晶圓。TCW可利用熱電偶直接鑲嵌於晶圓表面之溫度感測器,達成晶圓溫度即時量測,藉由放置於晶圓表面特定位置之溫度感測器,獲得特定位置真實溫度量測值以及整體晶圓溫度分布,利用感測器來持續監控在熱處理過程中之晶圓暫態溫度變化。該元件運用於高溫退火、擴散、熱板、黃光塗佈,目前已量產為一系列212吋晶圓,並可提供客製化服務,RTPTCW已出貨逾300部。致力於半導體產業相關設備之代理銷售及應用服務已逾20年的技鼎公司,目前與美國、韓國、新加坡、加拿大及歐洲國外代理原廠等大廠進行合作,並於高雄及上海均設立銷售及服務據點。
 
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